prom-kraska.ru

Статьи Диэлектрические свойства тонких пленок

Диэлектрические свойства тонких пленок

Множество диэлектрических материалов используется оп­тической промышленности для покрытия линз и в электронике для получения изолирующих пленок. Между тем только моно­окись кремния относительно хорошо изучена с точки зрения влияния остаточных газов на свойства пленок. Поэтому основ­ное внимание в данном разделе будет прежде всего уделено об­суждению свойств пленок, приготовленных сублимацией массив­ной моноокиси кремния.

Состав материала, испаряющегося из испарителя, в который загружен SiO, зависит от температуры испарителя. Так, Хасс сообщил, что при увеличении температуры испарителя плотность пленок окиси кремния возрастает вследствие увели­чения содержания кремния. Это подтверждается также оптиче­скими и электронографическими исследованиями. Прист и Касуэлл показали, что остаточные механические напряжения в пленках окиси кремния, полученных при низких давлениях (~5*10-6 мм рт. ст.), зависят только от темпера­туры испарителя вследствие температурной зависимости состава испаряющегося материала.

Остаточные газы также влияют на состав пленок окиси крем­ния, полученных из SiO. Несколько лет назад Хасс и Зальцберг установили, что можно получить сильно окисленные пленки кремния, если испарять SiO с низкой скоростью (мень­ше 3 А/сек) в плохом вакууме (10~4 мм рт. ст.). Позже Прист исследовал влияние некоторых остаточных газов на остаточные напряжения в пленках окиси кремния. Он на­шёл, что остаточные газы не оказывают ощутимого воздействия на свойства пленок, нанесенных при температурах испарителя выше 1300° С. 

Обновлено 19.11.2015 18:52  

Корзина




Ваша корзина пуста.

   

Категории товаров

Выбор валюты


Euro / Russian Ruble / US Dollar /