prom-kraska.ru

Статьи Дислокации - распространённый дефект напылённых пленок

Дислокации - распространённый дефект напылённых пленок

По характеру нарушения кристаллической решетки большое сходство с дефектами упаковки имеют двойниковые границы. Зерна, примыкающие к такой границе, находятся в двойниковой ориентации, т. е. относительно некоторой плоскости в кристал­ле их кристаллические решетки являются зеркальным изображением одна другой. Тонкие двойники трудно отличить под электронным микроскопом от дефектов упаковки. Согласно Мэтьюзу, двой­никовые границы формируются в результате встречи и слияния островков одинаковой ориентации, но с различной последова­тельностью упаковки атомных плоскостей. Схема двойниковой границы может быть представлена как последовательность пло­скостей типа АВСАВСВАСВА. Для объяснения присутствия двух различных типов последовательности атомных плоскостей АВСАВС и JCBACBA в островках было постулирова­но, что подложка может определять положение атомов только в первом слое решетки островка. Поэтому, если первый слой обра­зован плоскостью типа А, во втором слое могут быть либо плоскости В, либо С.

Наиболее часто встречающимися дефектами в напыленных пленках являются дислокации. Основная часть сведений о дислокациях в напыленных пленках получена в результате электронно-ми­кроскопических исследований эпитаксиальных пленок г.ц.к. ме­таллов. Существует пять возможных механизмов возникновения дислокаций в процессе роста таких пленок:

  1. при слиянии двух островков, решетки которых слегка повернуты одна относительно другой, образуется одно зерно, содержащее субграницу, которая состоит из дислокаций;
  2. существующие в пленке напряжения могут приводить к возникновению дислокаций у краев пор, обычно при­сутствующих на ранних стадиях роста пленки;
  3. дислокации, оканчивающиеся на поверхности подложки, могут продолжаться в пленке;
  4. если островки сливаются по поверхности, ограничивающей дефекты упаковки, то в сплошной пленке эти дефекты дол­жны быть ограничены частичными дислокациями;
  5. на поверхности раздела между пленкой и подложкой может возникать сетка дислокаций, приводящая к снятию напряжений. Такая сетка была обнаружена, например, Амелинксом.

 

Обновлено 19.11.2015 14:01  

Корзина




Ваша корзина пуста.

   

Категории товаров

Выбор валюты


Euro / Russian Ruble / US Dollar /