prom-kraska.ru

Статьи Электрические свойства и структура пленок

Электрические свойства и структура пленок


Присутствие примесей газов в металлических пленках может оказывать значительное влияние на их электрические свойства. Например, удельное сопротивление пленки индия, напыленной на подложку при комнатной температуре, при Ко2 >3% соста­вляет 14 мком-см, в то время как для чистой пленки индия эта величина равна 8,9 мком-см. При этом увеличивается так­же и температурный коэффициент сопротивления от 3 -10-3 до 4 - 10-3 град. Увеличение удельного сопротивления сопрово­ждается изменением ориентировки и структуры пленки. При Ко2<3% получаются поликристаллические, сильно ориентиро­ванные пленки с плоскостью, параллельной поверхности подложки, а при Со2>3% пленки совершенно не ориентирова­ны. Кроме того, поверхность пленок, напыленных при высоких парциальных давлениях кислорода, имеет значительно более грубую структуру. По-видимому, кислород нахо­дится в решетке в виде примеси внедрения, так как присут­ствия окиси индия в этих пленках не обнаружено. Этот вывод .согласуется с наблюдениями Лейера, показывающими, что окись индия образуется при температурах подложки выше 100° С. На электрические свойства и структуру пленок индия за­метное влияние среди обычных остаточных газов оказывают только кислород и пары воды.

Аналогичное явление наблюдается для пленок олова. Пленки, напы­ленные в присутствии кислорода, также имеют шероховатую поверхность. Чистые пленки ориентированы плоскостями параллельно поверхности подложки, а пленки, сильно легиро­ванные кислородом, полностью разориентированы.

Наиболее разительным образом остаточные газы влияют на структуру напыленных пленок сурьмы. Рюдл показал, что пленки сурьмы, напыленные в обычной вакуумной установке при давлении 10_6 ммрт.ст. со скоростью меньше 100 А/сек, неодно­родны и состоят из аморфных островков, погруженных в ма­трицу из кристаллитов. При более высоких скоростях напыления получаются чисто металлические пленки.

 

Обновлено 19.11.2015 18:54  

Корзина




Ваша корзина пуста.

   

Категории товаров

Выбор валюты


Euro / Russian Ruble / US Dollar /