После удаления газа, растворенного в поверхностном слое стекла, дальнейшее газоотделение происходит в результате диф­фузии паров воды из объема стекла к его поверхности. Решение уравнения диффузии Фика при соответствующих граничных условиях предсказывает, что количество газа, выделяющегося при постоянной температуре, должно быть пропорционально корню квадратному из времени прогрева.

К сожалению, диффузия паров воды из объема сопрово­ждается разложением стекла. Биллс и Эветт показали, что выше 350° С пирекс разлагается и выделяет пары воды и другие продукты, которые с трудом откачиваются из вакуумной си­стемы. Кроме того, после прогрева при повышенных темпера­турах химическое распыление ионами газа может приводить также к выделениям загрязнений из стекла. Масс-спектрометрические исследования указывают на присутствие натрия и ка­лия среди продуктов разложения. Эти щелочные металлы пред­ставляют серьезную проблему при исследованиях, связанных с измерением эмиссии электронов, так как из-за низкого потен­циала ионизации они испаряются с поверхности металлов в виде ионов. Например, при нагреве загрязненной вольфрамовой нити ионы  калия К⁺ появляются при 765° С, а ионы натрия Na⁺ — при 815° С.

Эти исследования показали, что для каждого стекла суще­ствует максимальная температура, которую не следует превы­шать, так как это может привести к дополнительному загрязне­нию стекла. С другой стороны, чтобы добиться требующегося обезгаживания поверхности за приемлемый период времени, необходима достаточно высокая температура. Для стекла пирекс, например, она близка к 330° С.