prom-kraska.ru

Статьи Условия развития островковой структуры пленки

Условия развития островковой структуры пленки

Установлено, что развитию островковой структуры пленки способствуют следующие условия: высокая температура подложки; низкая температура кипения материала пленки; низкая скорость осаждения; слабая сила связи между пленкой и подложкой; высокая поверхностная энергия материала пленки и низкая поверхностная энергия подложки.

Энергия связи может меняться от слабого вандерваальсового взаимодействия, не превышающего нескольких десятых электронвольта, до металлической связи с энергией в несколько электронвольт. Существующая информация также относится скорее к осаждению металлов на металлах, чем к случаю осаждения металлов на неметаллических подложках. В качестве простейшего примера рассмотрим энергию связи атома металла на подложке, образованной кристаллической плоскостью того же металла. В этом случае, зная кристаллическое строение и характер взаимодействия с атомами первой и второй координационных сфер, можно сопоставить энергию связи с величиной энергии сублимации. Положение усложняется, если взаимодействующие металлы разнородны.

Между материалами пленки и подложки часто возникает очень прочная химическая связь. Например, при осаждении алюминия на стекле образуется окисел, прочно связанный с этой подложкой. В этом случае очень велика и величина барьера зарождения может быть значительно уменьшена. Действительно, тенденция к образованию островковой структуры у пленок алюминия на стекле выражена очень слабо.

Сразу же после возникновения критические зародыши будут расти за счет присоединения к ним атомов, которые мигрируют по поверхности подложки на участки с большей прочностью связи. Исследование осадка на ранних стадиях роста показывает, что средний размер островков определяется, во-первых, суммарным количеством осажденного материала и, во-вторых, плотностью зародышей критического и сверхкритического размеров. После того как островки вырастают до достаточно большого размера и соприкасаются, либо между ними возникает граница зерен, либо, если это энергетически возможно, они могут сливаться, образуя одно зерно. Этот последний процесс был исследован электронно-микроскопически. Слияние облегчается при высокой температуре подложки и близкой кристаллической ориентации соприкасающихся островков. 

Обновлено 19.11.2015 19:00  

Корзина




Ваша корзина пуста.

   

Категории товаров

Выбор валюты


Euro / Russian Ruble / US Dollar /