prom-kraska.ru

Статьи Загрязнение пленок

Загрязнение пленок

Зависимость критического поля от температуры для вырезанных пленок оло­ва, сильно легированных кислородом, совершенно иная, чем у других вырезанных пленок. В пленках индия, сильно легирован­ных кислородом, глубина проникновения магнитного поля боль­ше 1000 А, тогда как во всех других пленках она соста­вляет 600±200А. В то же время резких изменений критической температуры в этих пленках (превышающих 0,015°) не обнару­жено.

Данные исследования показали, что в процессе напыления пленок олова и индия основную роль играет не полное давление в системе, которое может быть значительным, а парциальное да­вление определенных «критических газов». Для прямой провер­ки этого утверждения были проведены эксперименты на плен­ках индия и олова, приготовленных следующим образом. Под­ложку помещали в вакуумную систему и отжигали при 300° С в течение нескольких часов для очистки и обезгаживания. Всю остальную часть системы не прогревали. На следующий день после охлаждения подложки до комнатной температуры в систе­ме распылялся геттер для уменьшения парциального давления кислорода. Парциальные давления паров воды и двуокиси углерода снижались азотной ловушкой. Затем в вакууме 10~[1] мм рт.ст. со скоростью около 100 А/сек напылялись пленки индия или олова. Характеристики этих пленок не отличались от характеристик пленок, напыленных при 10-0 мм рт.ст. Таким образом, селективная откачка «критических» газов в данном случае является более подходящим решением проблемы загряз­нения пленок, чем сверхвысокий вакуум.

 



 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Обновлено 19.11.2015 18:53  

Корзина




Ваша корзина пуста.

   

Категории товаров

Выбор валюты


Euro / Russian Ruble / US Dollar /