Аппаратура для определения истинной величины коэффициента отражения чистых напыленных пленок

Значительно бо­лее трудным, чем измерения коэффициента отражения зеркал, является измерение коэффициента отражения чистых материа­лов при нормальном падении. Как уже указывалось, оптические параметры пленок в области вакуумного ультрафиолета опре­деляются часто не только параметрами материала, но и усло­виями изготовления. Кроме того, в настоящее время известно, что отражение в области вакуумного ультрафиолета сильно за­висит от наличия очень тонких поверхностных слоев. Такие по­верхностные слои могут образовываться на напыленных пленках даже в вакууме и возрастать по толщине при переносе пленки по воздуху из камеры для напыления в вакуумный реф­лектометр.

Чтобы избежать этих осложнений, можно объединить реф­лектометр с камерой для напыления и измерять коэффициент отражения пленок непосредственно после напыления до выноса их на воздух. Начиная с работ Баннинга в 1941 г. и далее , эта тех­ника использовалась рядом авторов при исследовании отраже­ния в области вакуумного ультрафиолета. Однако в экспери­менте Баннинга пленки до начала измерений подвергались об­лучению от газоразрядного источника света в течение 30 мин. Уокер измерял в 1959 г. коэффициент отражения ряда материалов без выноса их на воздух. Полученные результаты, касающиеся отражения и фотоэлектрического выхода, предста­вляют значительный качественный интерес. Однако испарение велось медленно, а давление и промежуток времени между из­готовлением и измерением были такими, что могло произойти значительное окисление поверхности пленки.