Дислокации - распространённый дефект напылённых пленок
По характеру нарушения кристаллической решетки большое сходство с дефектами упаковки имеют двойниковые границы. Зерна, примыкающие к такой границе, находятся в двойниковой ориентации, т. е. относительно некоторой плоскости в кристалле их кристаллические решетки являются зеркальным изображением одна другой. Тонкие двойники трудно отличить под электронным микроскопом от дефектов упаковки. Согласно Мэтьюзу, двойниковые границы формируются в результате встречи и слияния островков одинаковой ориентации, но с различной последовательностью упаковки атомных плоскостей. Схема двойниковой границы может быть представлена как последовательность плоскостей типа АВСАВСВАСВА. Для объяснения присутствия двух различных типов последовательности атомных плоскостей АВСАВС и JCBACBA в островках было постулировано, что подложка может определять положение атомов только в первом слое решетки островка. Поэтому, если первый слой образован плоскостью типа А, во втором слое могут быть либо плоскости В, либо С.
Наиболее часто встречающимися дефектами в напыленных пленках являются дислокации. Основная часть сведений о дислокациях в напыленных пленках получена в результате электронно-микроскопических исследований эпитаксиальных пленок г.ц.к. металлов. Существует пять возможных механизмов возникновения дислокаций в процессе роста таких пленок:
- при слиянии двух островков, решетки которых слегка повернуты одна относительно другой, образуется одно зерно, содержащее субграницу, которая состоит из дислокаций;
- существующие в пленке напряжения могут приводить к возникновению дислокаций у краев пор, обычно присутствующих на ранних стадиях роста пленки;
- дислокации, оканчивающиеся на поверхности подложки, могут продолжаться в пленке;
- если островки сливаются по поверхности, ограничивающей дефекты упаковки, то в сплошной пленке эти дефекты должны быть ограничены частичными дислокациями;
- на поверхности раздела между пленкой и подложкой может возникать сетка дислокаций, приводящая к снятию напряжений. Такая сетка была обнаружена, например, Амелинксом.
