Ионно-сорбционные насосы с термическим испарением поглотителя (ИСТИ)

Метод основан на непрерывном напылении пленки геттера. Насосы этого типа были разработаны Хербом и др. Схема коммерческого варианта такого насоса - источником ти­тана служит титановая проволока, подаваемая на горячую подложку, которая нагревается электронной бомбардировкой; титан напыляется на стенки камеры насоса. Ионная откачка молекул остаточных газов обеспечивается ионизирующим элек­тронным потоком между накаливаемой нитью и сеткой, на­ходящейся под положительным потенциалом. Активные газы — кислород, азот и водород — химически адсорбируются на свеженапыленной поверхности титановой пленки. Инертные газы, например гелий и аргон, внедряются в слой титана под дей­ствием электрических сил и «замуровываются» последующими слоями титана. Насосы, имеющиеся в продаже, обладают до­вольно большими габаритами (диаметр ~450 мм, высота ~640 мм) при скоростях откачки по кислороду, азоту и водо­роду 1000, 2000 и 3300 л/сек соответственно. Отмечалось, что пары воды плохо откачиваются этими насосами, поскольку вода слабо связывается титаном. Скорость откачки для инерт­ных газов также невелика (5 л/сек для аргона).

Существенные проблемы при работе насосов ИСТИ возни­кают в связи с подложкой — испарителем титана. Последняя подвержена интенсивному воздействию со стороны агрессивного титана и является поэтому потенциально слабым звеном. Эту ячейку можно исключить, применяя электронную бомбардировку конца титановой проволоки и испаряя титан из расплавленной капли. Другой метод, устраняющий трудности, связанные с ненадежностью указанного механизма подачи проволоки, состоит в испарении электронной бомбардировкой небольшого мотка титановой и танталовой проволок, свитых вместе и намо­танных на жесткую вольфрамовую проволоку.