На фиг. 1 приведена зависимость коэффициента отра­жения алюминия для различных длин волн от времени после прекращения испарения. Из этой зависимости видно, что даже при достаточно хороших экспериментальных условиях наблю­дается заметное уменьшение коэффициента отражения для ко­ротких длин волн. При Л = 1025 А отражение уменьшается на 22% за первые 200 сек после прекращения испарения. С умень­шением длины волны данная толщина окисла оказывает все более и более вредное влияние на отражение алюминия по сле­дующим двум причинам: во-первых, с уменьшением длины вол­ны возрастает поглощение в окисной пленке, и, во-вторых, изме­нение оптических постоянных алюминия и его окисла при уменьшении длины волны приводит к фазовому сдвигу на границе алюминий — окись алюминия, что способствует поглощению.

Время после осаждения,сен

Фиг. 1. Уменьшение коэффициента отражения свеженапыленных пленок алюминия со временем пребывания в вакууме после осаждения.

На фиг. 2 приведена зависимость коэффициента отраже­ния алюминия от времени пребывания в вакууме и представле­ны те изменения, которые наблюдаются при напуске в вакуум­ную систему воздуха. Из графика видно, что отражение пленки при Х= 1025 А после пребывания на воздухе в течение 1 час уменьшается примерно в 4 раза по сравнению с отражением не­экспонированной пленки.

Фиг. 2. Влияние старения на воздухе и в вакууме на коэффициент отра­жения напыленных пленок алюминия при трех различных длинах волн в об­ласти вакуумного ультрафиолета.

Влияние продолжительности напыления на зависимость ко­эффициента отражения алюминия от времени пребывания в ва­кууме (после осаждения) показано для Л = 1216 А. Более медленное напыление способствует развитию больших кристаллитов и захвату молекул остаточных газов в пленке. Это приводит к пористой структуре пленки с высоким исходным со­держанием окисла и соответственно к более низкому отраже­нию.