Коэффициент отражения алюминия
На фиг. 1 приведена зависимость коэффициента отражения алюминия для различных длин волн от времени после прекращения испарения. Из этой зависимости видно, что даже при достаточно хороших экспериментальных условиях наблюдается заметное уменьшение коэффициента отражения для коротких длин волн. При Л = 1025 А отражение уменьшается на 22% за первые 200 сек после прекращения испарения. С уменьшением длины волны данная толщина окисла оказывает все более и более вредное влияние на отражение алюминия по следующим двум причинам: во-первых, с уменьшением длины волны возрастает поглощение в окисной пленке, и, во-вторых, изменение оптических постоянных алюминия и его окисла при уменьшении длины волны приводит к фазовому сдвигу на границе алюминий — окись алюминия, что способствует поглощению.
Время после осаждения,сен
Фиг. 1. Уменьшение коэффициента отражения свеженапыленных пленок алюминия со временем пребывания в вакууме после осаждения.
На фиг. 2 приведена зависимость коэффициента отражения алюминия от времени пребывания в вакууме и представлены те изменения, которые наблюдаются при напуске в вакуумную систему воздуха. Из графика видно, что отражение пленки при Х= 1025 А после пребывания на воздухе в течение 1 час уменьшается примерно в 4 раза по сравнению с отражением неэкспонированной пленки.
Фиг. 2. Влияние старения на воздухе и в вакууме на коэффициент отражения напыленных пленок алюминия при трех различных длинах волн в области вакуумного ультрафиолета.
Влияние продолжительности напыления на зависимость коэффициента отражения алюминия от времени пребывания в вакууме (после осаждения) показано для Л = 1216 А. Более медленное напыление способствует развитию больших кристаллитов и захвату молекул остаточных газов в пленке. Это приводит к пористой структуре пленки с высоким исходным содержанием окисла и соответственно к более низкому отражению.