Методы испарения в ультрафиолетовом вакууме
В настоящее время все исследованные материалы, представляющие интерес для тонкопленочных отражающих покрытий в области вакуумного ультрафиолета, изготовляются с помощью различных способов термического испарения в вакууме. Ранее пленки изготовлялись катодным распылением и электролитическим или химическим осаждением, но во всех случаях полученные таким путем пленки не обеспечивали хорошего отражения в области вакуумного ультрафиолета. При химическом и электролитическом осаждении получаются грязные пористые и шероховатые пленки. Для метода катодного распыления характерна в общем меньшая скорость осаждения плёнки, чем при испарении, и, кроме того, пленки получаются более грязными и менее плотными. В методах термического испарения вещество нагревается до температуры, при которой начинается его испарение. Существуют три наиболее важных метода, в которых используются проволочные или ленточные нагреватели, индукционный нагрев и нагрев электронной бомбардировкой.
Прямонакальные ленточные и проволочные нагреватели. Наиболее часто используемым методом является метод прямонакальных ленточных и проволочных нагревателей. Для материалов с низкой температурой испарения удобно использовать ковкий проволочный и ленточный тантал или молибден. Сейчас доступны проволочные и ленточные промышленные испарители из вольфрама. Некоторые материалы в жидком состоянии растворяют вольфрам, но, несмотря на это, использование вольфрамовых проволочных испарителей приводит к удовлетворительным результатам. Во многих случаях применение испарителей, свитых из нескольких проволок, позволяет провести одно или даже несколько испарений. Растворенный вольфрам не испаряется при рабочей температуре испарителя. Это справедливо, например, в важном случае испарения алюминия.
В настоящее время методы испарения с помощью проволочных нагревателей хорошо изучены. Однако для ряда интересных материалов, для которых либо температура испарения очень высока, либо велика их реакционная способность к материалу испарителя, этот метод испарения нельзя признать удовлетворительным. В этих случаях следует обращаться к методам индукционного нагрева и нагрева электронной бомбардировкой.
