ПОКРЫТИЯ ДЛЯ ДИФРАКЦИОННЫХ РЕШЕТОК, РАБОТАЮЩИХ В ОБЛАСТИ ВАКУУМНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТА
Для получения максимальной эффективности в спектральной области 500—2000 А все дифракционные решетки должны быть покрыты соответствующими пленками или комбинациями пленок. Это справедливо как для решеток, изготовленных обычными способами, так и для решеток, полученных с помощью реплик. При выборе металла, на который необходимо нанести штрихи, прежде всего исходят из тех соображений, чтобы на нем можно было легко производить операцию нанесения штрихов, а также чтобы контуры штрихов были совершенными. При этом коэффициент отражения этого металла в области вакуумного ультрафиолета не принимается во внимание. Максимальная эффективность в необходимой спектральной области обеспечивается путем выбора угла скольжения и материала покрывающей пленки или комбинации пленок. При хорошем исполнении покрытие, по-видимому, не влияет на разрешающую способность решетки.
Алюминиевые пленки, изготовленные так, что коэффициент отражения в области вакуумного ультрафиолета высок, не являются оптимальным исходным материалом для изготовления дифракционной решетки и поэтому не используются. В последнее время проявляется интерес к использованию для этих целей золота, дающего более гладкую поверхность решетки, чем в случае алюминия. Это свойство решетки важно с точки зрения рассеяния света.
Было обнаружено, что пленки алюминия, напыляемые в качестве реплик и образующие поверхностный слой решеток, изготовленных на основе реплик, плохо отражают в области вакуумного ультрафиолета. Процесс отделения реплики от оригинала приводит к таким поверхностям реплик, на которых невозможно достичь высокой эффективности в области вакуумного ультрафиолета. Ввиду легкости нанесения покрытий на решетку, по- видимому, следует признать нецелесообразным непосредственное повышение качества получаемых поверхностей реплик. Для получения высокой эффективности скорее следует идти по пути усовершенствования процесса воспроизведения оригиналов решеток, который не приводил бы к нарушению поверхности или к ее шероховатости.