ПОКРЫТИЯ ДЛЯ ДИФРАКЦИОННЫХ РЕШЕТОК, РАБОТАЮЩИХ В ОБЛАСТИ ВАКУУМНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТА

Для получения максимальной эффективности в спектральной области 500—2000 А все дифракционные решетки должны быть покрыты соответствующими пленками или комбинациями пле­нок. Это справедливо как для решеток, изготовленных обычны­ми способами, так и для решеток, полученных с помощью ре­плик. При выборе металла, на который необходимо нанести штрихи, прежде всего исходят из тех соображений, чтобы на нем можно было легко производить операцию нанесения штри­хов, а также чтобы контуры штрихов были совершенными. При этом коэффициент отражения этого металла в области вакуум­ного ультрафиолета не принимается во внимание. Максималь­ная эффективность в необходимой спектральной области обеспечивается путем выбора угла скольжения и материала по­крывающей пленки или комбинации пленок. При хорошем ис­полнении покрытие, по-видимому, не влияет на разрешающую способность решетки.

Алюминиевые пленки, изготовленные так, что коэффициент отражения в области вакуумного ультрафиолета высок, не яв­ляются оптимальным исходным материалом для изготовления дифракционной решетки и поэтому не используются. В по­следнее время проявляется интерес к использованию для этих целей золота, дающего более гладкую поверхность решетки, чем в случае алюминия. Это свойство решетки важно с точки зрения рассеяния света.

Было обнаружено, что пленки алюминия, напыляемые в ка­честве реплик и образующие поверхностный слой решеток, изго­товленных на основе реплик, плохо отражают в области вакуум­ного ультрафиолета. Процесс отделения реплики от оригинала приводит к таким поверхностям реплик, на которых невозможно достичь высокой эффективности в области вакуумного ультра­фиолета. Ввиду легкости нанесения покрытий на решетку, по- видимому, следует признать нецелесообразным непосредствен­ное повышение качества получаемых поверхностей реплик. Для получения высокой эффективности скорее следует идти по пути усовершенствования процесса воспроизведения оригиналов ре­шеток, который не приводил бы к нарушению поверхности или к ее шероховатости.