Свойства пленок золота

Резкое уменьшение отражения со временем пребывания в ва­кууме непосредственно после испарения наблюдается не для всех напыленных материалов. К нечувствительным материалам относятся, в частности, золото и платина, которые также широко используются в производстве микросхем и печатных плат для сухих трансформаторов, электронной техники и т.д., для которых вначале наблюдается небольшое изменение отражения, а затем эта ве­личина стабилизируется. После того как коэффициент отра­жения напыленных пленок золота или платины достигнет в ва­кууме стабильной величины, эти пленки можно выносить на воздух без существенного изменения отражения.

Пленки золота для этих измерений напылялись из тщательно обезгаженных вольфрамовых лодочек до толщины примерно 1000 А при скорости осаждения порядка 500—1000 к/сек. Плен­ки были достаточно непрозрачны на этих длинах волн. Полу­прозрачные пленки золота имеют более высокий коэффициент отражения при А = 1216 А.

Оптические постоянные золота на длинах волн 584 и 1216 А определялись по Зависимости коэффициента отражения от угла падения перед экспонированием пленок на воз­духе, но после того, как величина коэффициента отражения ста­билизировалась в вакууме. Основанные на этих оптических постоянных расчеты показы­вают, что для пленок золота толщиной 400 А коэффициент про­пускания равен 0,1% на длине волны 584 А и достигает 22,4% в видимой области при X = 5000 А.

Платиновые пленки были получены испарением с вольфрамовых спира­лей. Скорость осаждения составляла 25—30 А/сек. Пленки, измеренные при А = 584 А, были поч­ти прозрачны, и коэффициент отражения их был выше, чем у не­прозрачных пленок.

Испарять платину значительно труднее, чем золото, так как она легко образует сплавы с вольфрамом и требует высоких температур для испарения.