Чувствительности омегатрона по отношению к различным газам

При переходе от амплитуды тока аи, отвечающей данному газу, к соответствующему парциаль­ному давлению р_{, возникает проблема, Величина связана с концентрацией моле­кул газа в ионизационной камере Ni соотношением доли ионов, образованных электронным лучом и достиг­ших коллектора, длиной пути электронного луча, элек­тронный тока и сечения ионизации данного газа.

Значения Si для омегатрона Клопфе­ра и Шмидта представлены в табл. 1. Однако целесообразно снимать гра­дуировочные кривые для каждого масс-спектрометра, поскольку чувствительность может заметно изменяться от прибора к при­бору.

 Таблица 1

 В большинстве случаев наиболее важной задачей является нахождение связи между парциальным давлением, измеренным в ограниченном объеме ионизационной камеры масс-спектро­метра, и соответствующим парциальным давлением в вакуум­ной камере, поскольку проводимость вакуумных коммуникаций между указанными объемами, как правило, достаточно низка. Например, реакции между газами, протекающими на поверхно­сти горячего катода, могут изменять локальный состав газов. Эффекты «памяти», обусловленные непрерывным выделением адсорбированных газов, — вторая сторона проблемы. О всех этих факторах следует помнить при анализе данных масс-спектро- метрических исследований. Однако даже с учетом отмеченных ограничений масс-спектрометр остается очень мощным инстру­ментом исследования, и его роль при изучении вакуумных си­стем, и в частности таких динамичных систем, как вакуумные испарительные установки, невозможно переоценить.