Электрические и механические вводы

Вакуумные испарительные установки обычно требуют наличия большого количества электрических вводов для нагрева испарителя и управления технологическим режимом напыления. В продаже имеется несколько типов вво­дов, пригодных для использования в сверхвысоковакуумных системах. Интересным нововведением является использование в сочетании с фланцем из нержавеющей стали переходника, изготовленного из монеля, в который впаивается электрический ввод. Такой переходник упрощает замену вводов, так как при этом не обязателен повторный нагрев или допол­нительная обработка фланца.

В ряде случаев нежелательно присутствие магнитного сплава ковар в области соединения (например, высокочастотные вводы). В связи с этим были разработаны различные модификации соединений типа спаев медь — стекло для систем из стекла с нержавеющей сталью, платиной и молибденом.

В вакуумных испарительных установ­ках обычно требуется осуществлять несколько видов перемеще­ния, например перемещение масок при напылении многослойных систем. В стеклянных установках соответствующее перемещение удобно выполнить, передвигая внутри вакуумной камеры по­средством внешнего магнита стержень из мягкого железа. На этом принципе основано очень простое устройство для замены масок. Каждая из масок может поворачиваться вокруг оси, закрепленной на одной из сторон держателя подложки, и балансируется таким образом, чтобы иметь два устойчивых положения — параллельное и перпендику­лярное плоскости подложки. Промышленность выпускает также магнитные приводы, передающие вращательное движение через стенки вакуумной камеры без непосредственного сопряжения деталей.

Другой метод передачи движения основан на использовании сильфонов. Преимуществом сильфонного привода является пря­мая механическая связь с вакуумной камерой.