Электрические свойства и структура пленок
Присутствие примесей газов в металлических пленках может оказывать значительное влияние на их электрические свойства. Например, удельное сопротивление пленки индия, напыленной на подложку при комнатной температуре, при Ко2 >3% составляет 14 мком-см, в то время как для чистой пленки индия эта величина равна 8,9 мком-см. При этом увеличивается также и температурный коэффициент сопротивления от 3 -10-3 до 4 - 10-3 град. Увеличение удельного сопротивления сопровождается изменением ориентировки и структуры пленки. При Ко2<3% получаются поликристаллические, сильно ориентированные пленки с плоскостью, параллельной поверхности подложки, а при Со2>3% пленки совершенно не ориентированы. Кроме того, поверхность пленок, напыленных при высоких парциальных давлениях кислорода, имеет значительно более грубую структуру. По-видимому, кислород находится в решетке в виде примеси внедрения, так как присутствия окиси индия в этих пленках не обнаружено. Этот вывод .согласуется с наблюдениями Лейера, показывающими, что окись индия образуется при температурах подложки выше 100° С. На электрические свойства и структуру пленок индия заметное влияние среди обычных остаточных газов оказывают только кислород и пары воды.
Аналогичное явление наблюдается для пленок олова. Пленки, напыленные в присутствии кислорода, также имеют шероховатую поверхность. Чистые пленки ориентированы плоскостями параллельно поверхности подложки, а пленки, сильно легированные кислородом, полностью разориентированы.
Наиболее разительным образом остаточные газы влияют на структуру напыленных пленок сурьмы. Рюдл показал, что пленки сурьмы, напыленные в обычной вакуумной установке при давлении 10_6 ммрт.ст. со скоростью меньше 100 А/сек, неоднородны и состоят из аморфных островков, погруженных в матрицу из кристаллитов. При более высоких скоростях напыления получаются чисто металлические пленки.
