Нагревание испарителя

Весьма существенные изменения в спектре остаточных га­зов наблюдаются в процессе нагрева испарителя до рабочей температуры. Неполное обезгаживание испарителей приводит к выделению газов из системы. Из тугоплавких металлов обычно выделяются водород, азот и окись углерода. Кроме того, при нагреве испаряемого материала могут выделяться любые из обычных остаточных газов в соответствии с металлургической историей этого материала. Излучение испарителя также может быть причиной газоотделения с близлежащих поверхностей. По­этому перед нанесением пленки необходимо тщательно обезгаживать испаритель, особенно в сверхвысоковакуумных системах. Однако наличие в системе горячего испарителя с большой по­верхностью даже после соответствующего обезгаживания может изменить состав остаточных газов в результате термического активирования химических реакций, как это наблюдается в слу­чае использования ионизационных манометров.

Взаимодействие остаточных газов с напыленными пленками (как в течение их нанесения, так и после) также может приво­дить к значительным изменениям в составе остаточных газов. Например, при реакциях между парами воды и ненасыщенной поверхностью бария или титана с примесями углерода образует­ся водород и предельные углеводороды, содержащие до пяти атомов углерода. Активные газы, как кислород, могут химически поглощаться многими пленочными материалами.

В заключение отметим, что состав остаточных газов в ва­куумных испарительных системах весьма сложным образом за­висит от многих факторов. Показания ионизационного мано­метра могут совершенно не отражать истинного положения. Поэтому следует рекомендовать использование приборов, из­меряющих парциальные давления.