Остаточные газы в сверхвысоком вакууме

Состав остаточных газов в сверхвысоковакуумных системах существенно иной. По-видимому, самым важным фактором, от которого зависит состав газов, является максимальная темпера­тура отжига вакуумной системы. Это обстоятельство иллюстри­руется данными Хикмота. В неотожженной системе, которая находи­лась под вакуумом в течение двух недель, основным компонен­том остаточных газов являются пары воды, а вторым (по давле­нию)—окись углерода. После отжига в течение 4 час при 125° С парциальное давление паров воды уменьшается примерно на по­рядок; 12-часовой отжиг при 225° С снижает р^₀. После повторных отжигов при 425° С и обезгаживания всех металлических деталей обнаруживаются только следы СО и Н₂0 при давлениях порядка 10~¹⁰ мм рт. ст. Высокотемпературный отжиг остается пока самым эффективным методом обезгаживания сверхвысоковакуумных систем, и в ча­стности уменьшения парциального давления паров воды.

Другим важным фактором, влияющим на состав остаточных газов в сверхвысоковакуумных системах, являются материалы конструкции. В хорошо обезгаженной вакуумной установке, из­готовленной из нержавеющей стали, присутствуют в основном окись углерода, водород и ничтожные следы паров воды. В стеклянных системах очень часто имеются следы паров воды, особенно в тех случаях, когда установка не подвергалась соот­ветствующему отжигу. Определенную роль играет также тип применяемого насоса. Как правило, использование масляного диффузионного насоса приводит к увеличению парциального давления водорода по сравнению с системами с ртутными насо­сами. Кроме того, в зависимости от типа масла и параметров отражателя насоса в системе могут появляться легкие углеводо­роды, например метан. При использовании ионно-сорбционных насосов метан может образовываться в объеме насоса вследствие реакций между парами воды или водорода и примесями угле­рода в гитане и оказывать влияние на масс-спектр остаточных газов. Это становится особенно заметным при выключении пи­тания ионно-сорбционного насоса.