Индукционный нагрев и электронная бомбардировка

Индукционный нагрев. При этом методе испаряемый металл может быть помещен в тигель из окиси алюминия или окиси циркония и нагрет индукционными ВЧ-токами до температуры испарения. Эффективность такого способа нагрева определяется величиной, формой и положением металла в тигле, а также его проводимостью. С этой точки зрения желательно иметь довольно массивные образцы. Неметаллы и полупроводники можно также испарять индукционным методом, но нагрев их должен производиться косвенным образом. Под этим обычно подразумевают индукционный нагрев металлического тигля, содержащего испаряемый материал.

Нагрев электронной бомбардировкой. Метод нагрева электронной бомбардировкой за последние годы приобрел большое значение, поскольку он является наилучшим для получения напиленных пленок из материалов, обладающих либо очень высокой температурой испарения, либо очень большой реакционной способностью к материалу проволочных и ленточных испарителей. Об испарении электронной бомбардировкой впервые сообщил О’Брайен. Исключительные результаты с помощью этого метода были получены Брочардом и др. Общие принципы устройств для такого испарения рассмотрены Холлэндом. Наиболее интересным аспектом метода являются идеально чистые условия испарения, поскольку испарение материала можно производить из испарителя, сделанного из того же самого материала. Фокусируя электронный луч на малую центральную часть поверхности образца и охлаждая образец по краям, можно испарять вещество с центра образца, в то время как его края будут оставаться в твердом состоянии. Это довольно трудно сделать на образцах с высокой теплопроводностью. Кроме того, резкость фокусировки электронного луча, к сожалению, ограничена объемным зарядом внутри луча. Имеются промышленные образцы испарителей с электронной пушкой, с помощью которых можно получать напыленные пленки кремния, молибдена, тантала, платины и вольфрама.