Камера напыления
Элементы камеры для напыления и измерения в несколько более крупном масштабе воспроизведены на рисунке 1. Показано горизонтальное положение подложки, при котором производится напыление. Подложка обращена к испарителю и отделена от него отверстием в отражательной перегородке,
которая предохраняет верхнюю часть камеры от попадания испаряемого материала.
Пунктиром показано вертикальное положение подложки, при котором производится измерение.
Вблизи подложки размещены передвижные заслонки. Одна из них расположена на малом расстоянии над подложкой и дополнительно предохраняет элементы, находящиеся в верхней части камеры, от конденсации испаряемого материала. Вторая заслонка, расположенная на малом расстоянии под подложкой, служит для контроля времени напыления.
Показан кольцевой электрод, расположенный на 12,5 см ниже подложки. Он используется для очистки подложки в тлеющем разряде постоянного тока перед напылением пленки. Для этого подается напряжение 4500 в, а величина тока определяется геометрией газоразрядной системы (в этом случае требуется ток лишь 30 ма). Заземленные экраны предохраняют электрод от напыляемого материала и концентрируют разряд в нужном месте.
Проволочные испарители размещены на дне камеры на расстоянии 40 см от подложки. Проволочные испарители служат для напыления алюминия с большой скоростью. Используются также испарители в виде лодочек. Медный токовый электрод вводится в камеру через ее основание. Он охлаждается водой, чтобы в течение продолжительной работы под большой нагрузкой он не служил источником газоотделения вследствие нагрева. Система питания испарителей позволяет пропускать токи 500 а в течение длительного времени без перегрева.
Толщина пленки контролируется по отражению или пропусканию подложки в процессе испарения. Для этого используется источник видимого или ближнего УФ света.
Вакуумная камера изготовляется из нержавеющей стали. Система откачки камеры, не показанная на рисунке 1, состоит из высоковакуумного затвора, ловушки с жидким азотом и диффузионного насоса со скоростью откачки 1400 л/сек. Вся установка смонтирована на соответствующем столе, и имеется возможность придвигать ее к выходной щели монохроматора без нарушения вакуума в системе.