Камера напыления

Элементы камеры для напыления и измерения в несколько более крупном масштабе воспроизведены на рисунке 1. Показано горизонтальное положение подложки, при котором производит­ся напыление. Подложка обращена к испарителю и отделена от него отверстием в отражательной перегородке,

которая предо­храняет верхнюю часть камеры от попадания испаряемого материала.

Пунктиром показано вертикальное положение под­ложки, при котором производится измерение.

Вблизи подложки размещены передвижные заслонки. Одна из них расположена на малом расстоянии над подложкой и до­полнительно предохраняет элементы, находящиеся в верхней части камеры, от конденсации испаряемого материала. Вторая заслонка, расположенная на малом расстоянии под подложкой, служит для контроля времени напыления.

Показан кольцевой электрод, расположенный на 12,5 см ниже подложки. Он используется для очистки подложки в тлеющем разряде постоянного тока перед напылением пленки. Для этого подается напряжение 4500 в, а величина тока опреде­ляется геометрией газоразрядной системы (в этом случае тре­буется ток лишь 30 ма). Заземленные экраны предохраняют электрод от напыляемого материала и концентрируют разряд в нужном месте.

Проволочные испарители размещены на дне камеры на рас­стоянии 40 см от подложки. Проволочные испарители служат для напыления алюминия с большой ско­ростью. Используются также испарители в виде лодочек. Мед­ный токовый электрод вводится в камеру через ее основание. Он охлаждается водой, чтобы в течение продолжительной работы под большой нагрузкой он не служил источником газоотделения вследствие нагрева. Система питания испарителей позволяет пропускать токи 500 а в течение длительного времени без пере­грева.

Толщина пленки контролируется по отражению или пропу­сканию подложки в процессе испарения. Для этого использует­ся источник видимого или ближнего УФ света.

Вакуумная камера изготовляется из нержавеющей стали. Си­стема откачки камеры, не показанная на рисунке 1, состоит из вы­соковакуумного затвора, ловушки с жидким азотом и диффузи­онного насоса со скоростью откачки 1400 л/сек. Вся установка смонтирована на соответствующем столе, и имеется возмож­ность придвигать ее к выходной щели монохроматора без нару­шения вакуума в системе.