Конструкция камеры Маддена и Кэнфила
Наиболее важные узлы установки Маддена и Кэнфилда показаны на рисунке 1. На рисунке 1а приведен вид сверху на горизонтальное сечение установки, сделанное через выходную щель вакуумного монохроматора и измерительную камеру. Показаны направления перемещения зеркала w приемника, а также путь монохроматического луча. Длина пути была выбрана наиболее короткой. В качестве приемника служил фотоумножитель, который регистрировал флуоресценцию пленки натриевой соли салициловой кислоты. Такой тип приемника был описан Джонсоном.
Конструкция предусматривала измерение интенсивности прямого и отраженного лучей при любом угле падения от 6 до 86°. Для достижения этого необходимо вращать зеркало и приемник относительно общей оси, причем приемник должен иметь вдвое большую угловую скорость, чем зеркало. Такое соотношение скоростей устанавливалось с помощью «удвоителя угла», который размещался внутри вакуумной системы. Принцип работы этого механизма иллюстрирует рисунке 1б. Из приведенной схемы видно, что если длины плеч равны, то угол 0D всегда будет вдвое больше угла 0де. Для создания таких движений большее плечо с пазом поворачивается относительно общей оси вращения.
Рисунок 1в представляет собой вертикальный разрез измерительной камеры и камеры для напыления. На этой схеме показано направление перемещения держателя образца вокруг горизонтальной оси из положения для измерения в положение для напыленных пленок в области вакуумного ультрафиолета.
Рисунок 1. Камера для напыления и измерения.
Выходная щель монохроматора
Положение для измерения
а-.горизонтальное сечение камеры для измерения; 0 —удвоитель угла; в —вертикальный разрез камеры для напыления и измерения.
1 — зеркало; 2—фотоумножитель; 3 — фиксированное плечо; 4 — шарнир (двигается в пазу);
5—.держатель образца; б —испаритель; 7 —фотоэлемент; б—источник света для контроля толщины; 9— отверстие для откачки.
Вместе с вакуумным монохроматором камера позволяет определять истинное отражение напыления. Здесь же приведены обычное устройство для напыления и система измерения толщины пленки.
