Коэффициент отражения в вакуумном ультрафиолете

Для того, чтобы отраженный от образца луч не смещался на покрытой фосфором пластине при поворачивании образца и приемника, необходима точная работа удвоителя угла. Для углов падения от 0 до 90° угол поворота приемника в этом ме­ханизме (равный удвоенному углу поворота образца) выдерживался с точностью ±0,03°. Это соответствует смещению луча на фосфоре менее чем на 0,02 мм. В комбинированной камере для напыления и из­мерения отражения легко достигается вакуум 2 • 10^-7 ммрт.ст. Исследование истинной величины коэффициента отражения алю­миния требует еще более чистых вакуумных условий. К сожале­нию, для получения пленок алюминия с высоким коэффициентом отражения в области вакуумного ультрафиолета необходи­мы высокие скорости испарения. Несмотря на выявленные недостатки алюминия, значимость его в других областях применения увеличивается. .

Однако при этом испарители выделяют за короткий промежуток времени большое количе­ство тепла. Это вызывает выделение газа из деталей, окружаю­щих испарители, что вместе с газоотделением самих испарителей приводит к значительному ухудшению вакуума в процессе ис­парения. Хранение открытой системы в атмосфере сухого азота, предварительное обезгаживание испарителей перед началом ис­парения и мягкий прогрев стенок камеры (высокотемпературное обезгаживание невозможно вследствие наличия смазки) ограни­чивают ухудшение вакуума в процессе испарения. Возрастает также скорость возвращения к первоначальному вакууму в про­цессе испарения.

На рисунке 1 приведена зависимость давления в этой системе от времени t после начала испарения. Указано также исходное давление. Испарение происходило при t=0, и давление возросло, примерно до 4- 10^_6 ммрт. ст. За­тем давление резко уменьшается и по истечении 5 сек становит­ся ниже 10^_6 ммрт. ст. Такая характеристика позволяет опреде­лить истинную величину коэффициента отражения в вакуумном ультрафиолете для веществ с высокой реакционной способностью, например алюминия.

Время после испарения, сек

Рисунок 1. Давление в измерительной камере до и после испарения алюминия с типичной высокой скоростью.