Передвижение подложки и приемника фотоумножителя

В этой статье кратко описана работа механизма передвижения под­ложки и приемника фотоумножителя. Приемник и образец перемещаются с по­мощью червячной передачи, расположенной сверху По сферам применения такой тип передачи очень распространён. 

Червячная передача состоит из червячного колеса и червяка с валом, кото­рый проходит через кольцевое уплотнение в стенке камеры и связан с приводом. На фотографии можно видеть удвоитель угла, который расположен между держателем образца и червяч­ной передачей. Подложка крепится на передней поверхности держателя в трех точках с помощью регулируемой пружины. Образец и держатель поворачиваются в горизонтальное поло­жение для напыления с помощью скошенной под угол 45° кони­ческой передачи в нижней части механизма. Вертикальная и горизонтальная оси вращения образца фиксированы кинемати­чески в V-образном блоке опор с плоскими пружинами, удержи­вающими оси в V-образных пазах. Такой тип опоры обеспечи­вает требуемую воспроизводимость и очень удобен при работе в вакууме без смазки. Весь механизм также расположен в эвакуированном объеме, однако его можно вынимать для регулировки или очистки; при этом юстировка не нарушается.

Для того чтобы отраженный от образца луч не смещался на покрытой фосфором пластине при поворачивании образца и приемника, необходима точная работа удвоителя угла. Для углов падения от 0 до 90° угол поворота приемника в этом ме­ханизме (равный удвоенному углу поворота образца) выдерживался с точностью ±0,03°. Это соответствует смещению луча на фосфоре менее чем на 0,02 мм.