Магнитная толщина плёнок
Для получения частей оборудования с заданными функциональными параметрами, для создания современных станков были проведены различные эксперименты, написаны титанические научные труды о свойствах пленок – верхнем покрытии деталей, наносимым в вакуумных установках. В этой статье рассмотрим магнитную толщину плёнок.
Трудно обнаружить окисление, если толщина пленки измеряется по ее электропроводности, даже в том случае, когда измерения проводятся непосредственно после нанесения пленок.
Недавно Розетт и Гофман доказали, что «магнитная» толщина полученных ими пленок никеля на 10 А меньше, чем эквивалентная толщина, измеренная методом рентгеновской флуоресценции. Это показывает, что на поверхности их пленок действительно присутствовал оксидный слой. Однако различия между пленками, полученными в обычных вакуумных условиях и в сверхвысоком вакууме, не сводятся только к простому уменьшению их толщины (номинальная толщина никеля меньше толщины окисла). Несомненно, что пленки, полученные в плохом вакууме, содержат много примесей, изменяющих свойства материала. Этот вывод подтверждается работой Берндта, исследовавшего зависимость коэрцитивной силы Нс пленок никеля от толщины пленки и от вакуума, в котором напылялась пленка. Согласно полученным данным, в приготовленных при низких давлениях пленках Нс не зависит от толщины в диапазоне 100—1500 А.
К сожалению, пока не имеется сведений о влиянии примесей определенных газов на свойства тонких магнитных пленок. Водород, адсорбированный на поверхности чистой пленки, изменяет константу анизотропии в направлении, перпендикулярном поверхности, не влияя на величину намагниченности насыщения Между тем, этот газ активно поглощается при напылении пермаллоевых пленок и всегда присутствует в ощутимых количествах в большинстве вакуумных систем. Поэтому крайне интересно установить влияние примеси водорода на магнитные характеристики пленок, полученных испарением в вакууме.