Оптические постоянные полупрозрачных пленок на поглощающей подложке

В спектральной области Х = 500—1100 А все известные подложки поглощают свет. В случае если материал пленки обладает высоким коэффициентом поглощения, могут использоваться ‘методы, разработанные для непрозрачных пле­нок. Для пленок с низким значением k в этой области необходимы дополнительные методы.

Фабр и другие сообщили о напылении пленки в виде клина с известным распределением толщины по подложке. В этом слу­чае измерялся коэффициент отражения при различных положе­ниях луча на клиновидной пленке известной толщины. Для пле­нок с достаточно низким k можно показать, что система урав­нений для различных толщин пленок исключает параметры, связанные с оптическими свойствами подложки. Такими пара­метрами являются отражение и фазовый сдвиг на границе плен­ка— подложка. Таким образом можно определить п и k мате­риала пленки.

Если пленку с низким значением k можно сделать достаточ­но толстой, не вводя рассеяния, то на кривой зависимости отра­жения от угла падения появятся интерференционные пики. По­ложение этих пиков определяет величину п материала пленки.

Наличие тонкого поглощающего слоя на поверхности сдви­гает положение этих пиков и, следовательно, приводит к невер­ным величинам показателя преломления.

В спектральной области i<1000A показатель преломления большей части материалов становится меньше единицы. Следо­вательно, при определении зависимости коэффициента отраже­ния от угла падения можно наблюдать явление «полного» отра­жения. В пленках с сильным поглощением этот эффект отсут­ствует. Однако при достаточно низких значениях k это явление наблюдается, что позволяет определить приблизительную вели­чину показателя преломления по измерению угла, при котором начинается резкое возрастание отражения (n = sin0_c). С уве­личением k угол резкого возрастания становится менее выра­женным и «полное» отражение уменьшается.