Оптические постоянные полупрозрачных пленок на поглощающей подложке
В спектральной области Х = 500—1100 А все известные подложки поглощают свет. В случае если материал пленки обладает высоким коэффициентом поглощения, могут использоваться ‘методы, разработанные для непрозрачных пленок. Для пленок с низким значением k в этой области необходимы дополнительные методы.
Фабр и другие сообщили о напылении пленки в виде клина с известным распределением толщины по подложке. В этом случае измерялся коэффициент отражения при различных положениях луча на клиновидной пленке известной толщины. Для пленок с достаточно низким k можно показать, что система уравнений для различных толщин пленок исключает параметры, связанные с оптическими свойствами подложки. Такими параметрами являются отражение и фазовый сдвиг на границе пленка— подложка. Таким образом можно определить п и k материала пленки.
Если пленку с низким значением k можно сделать достаточно толстой, не вводя рассеяния, то на кривой зависимости отражения от угла падения появятся интерференционные пики. Положение этих пиков определяет величину п материала пленки.
Наличие тонкого поглощающего слоя на поверхности сдвигает положение этих пиков и, следовательно, приводит к неверным величинам показателя преломления.
В спектральной области i<1000A показатель преломления большей части материалов становится меньше единицы. Следовательно, при определении зависимости коэффициента отражения от угла падения можно наблюдать явление «полного» отражения. В пленках с сильным поглощением этот эффект отсутствует. Однако при достаточно низких значениях k это явление наблюдается, что позволяет определить приблизительную величину показателя преломления по измерению угла, при котором начинается резкое возрастание отражения (n = sin0c). С увеличением k угол резкого возрастания становится менее выраженным и «полное» отражение уменьшается.