ОТРАЖЕНИЕ НАПЫЛЕННЫХ ПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМ В ОБЛАСТИ ВАКУУМНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТА
Хорошо известно, что в видимой области спектра можно получить большое число разнообразных характеристик фильтров на отражение и пропускание, используя различные комбинации только двух прозрачных материалов—одного с низким, а другого с высоким показателями преломления. Хорошо разработана теория таких фильтров. В настоящий момент большой интерес представляет разнообразие характеристик пленочных систем на основе использования для этих целей неоднородных пленок, которые могут быть созданы либо попеременным, либо одновременным испарением двух веществ. Огромное значение имело бы открытие двух таких прозрачных и стабильных материалов, которые могли бы служить отражающими покрытиями и фильтрами для вакуумного ультрафиолета. Для длинноволновой области вакуумного ультрафиолета, по-видимому, можно получить такие покрытия, но для области А<1050 А все известные материалы с низким коэффициентом поглощения легко окисляются, а окислы обладают большим поглощением.
Теория оптических свойств систем, содержащих тонкие поглощающие пленки, гораздо более сложна, и получить общие результаты трудно. Однако имеются программы расчета, которые позволяют вычислить характеристики любой типичной комбинации пленок для данной длины волны и данного угла падения, если известны оптические постоянные и толщины пленок. Когда будет иметься большое число веществ с известными оптическими постоянными в области вакуумного ультрафиолета, мы сможем использовать эти программы расчета для выбора пленочных систем с необходимыми оптическими характеристиками.