Отражающие пленочные фильтры
Во многих приборах для вакуумного ультрафиолета значительную трудность представляет устранение значительного по интенсивности длинноволнового рассеянного света. Часто рассеянный свет можно уменьшить путем использования отражающего фильтра должной конструкции. Для этих целей желательно иметь покрытия, которые бы обладали очень низким коэффициентом отражения в видимой и ближней ультрафиолетовой областях и высоким коэффициентом отражения в области вакуумного ультрафиолета. На фиг. 1 приведена характеристика такого фильтра с наибольшим отражением при 1216 А. Этот фильтр состоит из слоя сульфида цинка толщиной примерно 800 А, покрытого пленкой фторида магния толщиной 250 А. Пленка MgF2 на ZnS увеличивает отражение при 1216 А от 33 до 46% и значительно уменьшает отражение для больших длин волн. Такая пленочная комбинация отражает только 8% при 2000 А и 6% при 4000 А.
Длина волны, А
Фиг. 1. Спектральная зависимость отражения в области вакуумного ультрафиолета напыленных пленок без покрытия и с покрытием MgF2 толщиной 250 А
Сообщается об отражающем фильтре на основе пленок ZnS и германия, нанесенных на напыленную пленку алюминия. Характеристика такого фильтра приведена на фиг. 2.
Фиг. 2. Спектральная зависимость отражения в области вакуумного ультрафиолета и эскиз многослойного отражающего фильтра, обладающего очень низким отражением в области А = 4000 А.
Толщина напыленных пленок контролировалась на длине волны Л = 4000 А
Толщина пленок контролировалась по отражению при 4000А. Германий напылялся на пленку алюминия до тех пор, пока отражение не достигало максимума. Затем на полученную пленочную комбинацию Ge—А1 напылялся сульфид цинка. Напыление прекращалось, когда отражение при 4000 А уменьшалось почти до нуля. Эта комбинация имела почти постоянный коэффициент отражения 32% в диапазоне от 1150 до 2800 А и меньше 10% в диапазоне от 3500 до 8000 А. Имеются также данные и о другом отражающем фильтре на основе только ZnS и алюминия. Характеристика такого фильтра аналогична приведенной на фиг. 2. Однако повышение фильтрующего действия в промежуточном ультрафиолете происходит за счет ухудшения в видимой области. Схема конструкции фильтра и его спектральная характеристика приведены на фиг. 3.
Фиг. 3. Спектральная зависимость отражения в области вакуумного ультрафиолета и эскиз многослойного отражающего фильтра, обладающего максимальным фильтрующим действием в промежуточной ультрафиолетовой области.