Отражающие пленочные фильтры

Во многих приборах для вакуумного ультрафиолета значительную трудность пред­ставляет устранение значительного по интенсивности длинно­волнового рассеянного света. Часто рассеянный свет можно уменьшить путем использования отражающего фильтра долж­ной конструкции. Для этих целей желательно иметь покрытия, которые бы обладали очень низким коэффициентом отражения в видимой и ближней ультрафиолетовой областях и высоким ко­эффициентом отражения в области вакуумного ультрафиолета. На фиг. 1 приведена характеристика такого фильтра с наи­большим отражением при 1216 А. Этот фильтр состоит из слоя сульфида цинка толщиной примерно 800 А, покрытого пленкой фторида магния толщиной 250 А. Пленка MgF₂ на ZnS увеличивает отражение при 1216 А от 33 до 46% и значитель­но уменьшает отражение для больших длин волн. Такая пле­ночная комбинация отражает только 8% при 2000 А и 6% при 4000 А.

Длина волны, А

Фиг. 1. Спектральная зависимость отражения в области вакуумного ультрафиолета напыленных пленок без покрытия и с покрытием MgF2 толщиной 250 А

Сообщается об отражающем фильтре на основе пленок ZnS и германия, нанесенных на напыленную пленку алю­миния. Характеристика такого фильтра приведена на фиг. 2.

Фиг. 2. Спектральная зависимость отражения в области вакуумного ультрафиолета и эскиз многослойного отражающего фильтра, обладающего очень низким отражением в области А = 4000 А.

Толщина напыленных пленок контролировалась на длине волны Л = 4000 А

Толщина пленок контролировалась по отражению при 4000А. Германий напылялся на пленку алюминия до тех пор, пока от­ражение не достигало максимума. Затем на полученную пле­ночную комбинацию Ge—А1 напылялся сульфид цинка. Напыле­ние прекращалось, когда отражение при 4000 А уменьшалось почти до нуля. Эта комбинация имела почти постоянный коэф­фициент отражения 32% в диапазоне от 1150 до 2800 А и мень­ше 10% в диапазоне от 3500 до 8000 А. Имеются также данные и о другом отражающем фильтре на основе только ZnS и алюминия. Характеристика такого филь­тра аналогична приведенной на фиг. 2. Однако повышение фильтрующего действия в промежуточном ультрафиолете про­исходит за счет ухудшения в видимой области. Схема конструк­ции фильтра и его спектральная характеристика приведены на фиг. 3.

Фиг. 3. Спектральная зависимость отражения в области вакуумного ультрафиолета и эскиз многослойного отражающего фильтра, обладающего максимальным фильтрующим действием в промежуточной ультрафиолетовой области.