Параметры, влияющие на текстуры пленок

На образование текстуры влияют также такие параметры, как содержание примесей и скорость осаждения. Используя го­раздо более низкие скорости осаждения, Дэви получил за­висимость степени текстурирования от температуры подложки, которая сильно отличается от результатов Виа и Туна. При тек­стурировании пленок серебра, алюминия и золота, исследован­ных Брюком, Дикситом, Рюдигером и Уилкинсо­ном и Бёрксом, наблюдаются аналогичные изменения на­правления преимущественной ориентации.

Если угол падения потока испаряемого вещества не совпа­дает с нормалью к поверхности подложки, то направление роста кристаллитов и соответственно ось текстуры часто бывают на­клонены в сторону направления падения потока. Только в одном случае наблюдалось отклонение в противоположном на­правлении.

В таких материалах, как висмут и сурьма, которые имеют тенденцию конденсироваться в аморфную фазу, текстурирован­ный рост наблюдается только после осаждения пленки опреде­ленной толщины. При этом спонтанно происходит мгновенная рекристаллизация, сопровождающаяся, вероятно, выделением тепловой энергии.

В последние годы путем использования высокого вакуума и низких скоростей осаждения удалось добиться текстурирован­ного роста при весьма низких температурах подложки. Однако богатство экспериментального материала по исследованию тек­стурированных пленок находится в сильном противоречии с ограниченным развитием количественной атомной или термоди­намической теории, способной предсказать, какие ориентации можно получить при различных условиях осаждения.