Пары воды и давление кислорода в непрогреваемых вакуумных системах

Наблюдение, что пары воды эффективнее снижают напряжения, весьма важно, если учесть, что пары воды являются основным остаточным га­зом в непрогреваемых вакуумных системах и что, как правило, их количество на порядок выше содержания кислорода.

Получение сверхвысокого вакуума с использованием электрического компрессора путем нанесения SiO на стенки небольшой непрогреваемой стеклянной вакуумной каме­ры явилось предметом заметки Кирчнера. Значительного понижения парциального давления паров воды и кислорода в непрогреваемой системе можно достичь напылением SiO при низкой температуре испарителя. Тем не менее, поскольку генерирующее действие для азота или водорода отсутствует, а для СО оно весьма мало, необходимо обеспечить достаточ­ную скорость откачки по указанным газам. В малых замкнутых системах, подобных использовавшейся Кирчнером, для этой цели, по-видимому, вполне достаточно скорости откачки, обес­печиваемой ионизационным манометром.

Как уже указывалось, до сих пор уделялось мало внимания изучению влияния остаточных газов на свойства других диэлектрических материалов. Кемпбелл и Блэкбёрн показали, что остаточные напряжения в пленках LiF и ZnS зависят от скоро­сти напыления. Однако остается неясным, обусловлен ли этот эффект остаточными газами или повышенной температурой ис­парителя, использованной для повышения скорости испарения. Тем не менее совершенно очевидно, что парциальные давления кислорода и паров воды должны играть важную роль в про­цессе испарения окислов металлов и что величина p_Hi0 имеет большое значение при напылении гигроскопичных материалов.