Пары воды и давление кислорода в непрогреваемых вакуумных системах
Наблюдение, что пары воды эффективнее снижают напряжения, весьма важно, если учесть, что пары воды являются основным остаточным газом в непрогреваемых вакуумных системах и что, как правило, их количество на порядок выше содержания кислорода.
Получение сверхвысокого вакуума с использованием электрического компрессора путем нанесения SiO на стенки небольшой непрогреваемой стеклянной вакуумной камеры явилось предметом заметки Кирчнера. Значительного понижения парциального давления паров воды и кислорода в непрогреваемой системе можно достичь напылением SiO при низкой температуре испарителя. Тем не менее, поскольку генерирующее действие для азота или водорода отсутствует, а для СО оно весьма мало, необходимо обеспечить достаточную скорость откачки по указанным газам. В малых замкнутых системах, подобных использовавшейся Кирчнером, для этой цели, по-видимому, вполне достаточно скорости откачки, обеспечиваемой ионизационным манометром.
Как уже указывалось, до сих пор уделялось мало внимания изучению влияния остаточных газов на свойства других диэлектрических материалов. Кемпбелл и Блэкбёрн показали, что остаточные напряжения в пленках LiF и ZnS зависят от скорости напыления. Однако остается неясным, обусловлен ли этот эффект остаточными газами или повышенной температурой испарителя, использованной для повышения скорости испарения. Тем не менее совершенно очевидно, что парциальные давления кислорода и паров воды должны играть важную роль в процессе испарения окислов металлов и что величина pHi0 имеет большое значение при напылении гигроскопичных материалов.