Остаточные напряжения в пленках

При более низких температурах (то есть ниже 1300° С) испа­рителя пары воды вносят существенные изменения в величину остаточных напряжений. Кроме того, коэффициент преломления (измеренный при Я = 5460 А) уменьшается от 2,0 (в пленках, напыленных при давлении 10~⁷ мм рт. ст.) до 1,6 (в пленках, напыленных при парциаль­ных давлениях паров Н₂0 2 • 10~⁶ мм рт. ст.). Это свидетельствует об образовании более высокого окисла. Неполностью окисленные пленки весьма нестабильны и растрескиваются при выдержке в атмо­сферных условиях. 

При увеличении температуры испарителя до 1257° С оста­точные напряжения в пленках изменяются. Однако растягивающие напряжения не уменьшаются, пока парциальное давление паров воды не до­стигнет достаточно большой величины. Для того чтобы исклю­чить эффекты, обусловленные только увеличением скорости сублимации при повышении температуры испарителя. Тот факт, что кривая, отвечающая более низкой температуре испарителя (1183° С), лежит значительно ниже кри­вой для Т=1257°С, говорит в пользу гипотезы, согласно кото­рой менее напряженные и менее плотные пленки, полученные при низких температурах испарителя, более восприимчивы к окислению. Действительно, вероятность реакции между моле­кулами воды и пленкой окиси кремния выше в случае менее плотного вещества.

Влияние кислорода подобно парам воды, но при этом получаются более высокие окислы. Однако при одной и той же темпера­туре испарителя пары воды оказываются значительно эффектив­ней, чем кислород, уменьшая напряжения приблизительно на порядок.